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實驗設備 

• 管式爐（科晶） 

  • CVD系統(tǒng)

  • 旋轉(zhuǎn)管式爐

  • 單溫區(qū)管式爐

  • ALD /PECVD /Mist /HVPE /MOCVD系統(tǒng)

• 箱式爐（科晶） 

  • 1600~1700℃C箱式爐(MoSiO2)

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  • 1750°C箱式爐(MoSi02)

  • 加熱爐系列

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真空法蘭 

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真空腔體

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  • 盲板

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  • ISO轉(zhuǎn)接

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• 高真空擋板閥

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真空泵